新三板立异层公司阳光中科新增专利信息授权:“一种具有高温带的ALD喷淋组件”
2023-11-28 行业新闻
据启信宝,新三板立异层公司阳光中科(838982)新增专利信息,专利权人为阳光中科,发明人是陈泽其、吴旭荣、陈阳泉、戴亮亮、卢发树、柯雨馨、许荣耀。专利授权日为2023年8月29日,专利名称为“一种具有高温带的ALD喷淋组件”,专利类型为我国实用新型专利,专利请求号为CN1.4。
该专利摘要显现:本实用新型公开了一种具有高温带的ALD喷淋组件,包含基板,用于容置待加工件;锁紧件,用于ALD(Atomic layer deposition,ALD)工序中ALD喷淋组件的固定;高温带,坐落所述基板的上外表,用于使ALD喷淋组件和ALD设备内腔体端面严密贴合;所述ALD喷淋组件,用于PERC(Passivated Emitter and Rear Cell,PERC)太阳能电池的ALD方法氧化铝膜堆积。因而,本请求完成了ALD喷淋组件和内腔体的端面贴合更好,进步ALD设备内腔体气密性,进步产线良率,以及改进了内腔体端面和ALD喷淋组件堆积过多的氧化铝。
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